微汙染(AMC)管理系統-APA 302-叡盈實業

【商品描述】
有效的污染監測
在無塵室環境下，APA 302 是用於先進晶片製造的獨特線上監測工具。這台革新性設備可以測量 FOUP 和周圍環境中的空氣分子污染物（簡稱 AMC）。此測量實時發生，在 ppbv 範圍內具有很高的靈敏度。

水分和空氣分子污染物 (AMC)，例如，氟化氫 (HF)，在等待時間內，在 FOUP 槽對槽的空間被釋放。而這些元素會在圖樣晶圓上產生晶體生長，導致產量的損失和性能的退化。普發真空的 APA 302 通過 FOUP 過濾器來對 AMC 進行取樣。在 ppb 的範圍內，透過離子遷移光譜儀、火焰離子化檢測、熒光紫外或光腔衰蕩光譜技術，測量在 2 分鐘內發生，具有高靈敏度。而當負載連接埠上沒有 FOUP 時，APA 302 會監控周圍的無塵室環境。

FOUP 環境的可靠分析
為了確保性能，SEMI S2/S8 相容的 APA 302 配備了自動校準功能，它會在定期的時間間隔內啟動。對於在 APA 中對 AMC 的監控，可在有晶圓或無晶圓的 POD 中執行。 FOUP 可以手動傳送，也可透過 2 個負載連接埠上的懸掛式起重運輸 (OHT) 來傳送。因此，可優化各製程步驟間的等待時間，污染的增加量能立刻被察覺到，且產量增加。